Тематика конференции
1. Физико-химические свойства материалов и структур микро- и наноэлектроники.
2. Фазовые равновесия и превращения в материалах электронной техники для микро- и наноэлектроники.
3. Технологии наноматериалов и тонкопленочных структур для микро- и наноэлектроники.
4. Приборы, устройства и информационные технологии в микро- и наноэлектронике.